TDS1200 及 EMD-WA1000S/W 的啟動與停止
−設備啟動方法−
設備啟動
❶進行事前確認。
・漏電斷路器處於OFF狀態。
・已供應壓縮空氣。(0.01～0.02 MPa)
・RP1開關處於OFF狀態。
❷將裝置背面的斷路器切換至ON。
❸按下裝置正面面板上的RESET開關。
主腔室排氣系統啟動
❶進行事前確認。
・主腔室已關閉，且設備安裝正確。
・主腔室排氣閥已關閉。
・AUTO / MANUAL 開關設定為 MANUAL。
・MV、VV、RV、GV 開關均設定為 CLOSE。
・RP1 開關設定為 OFF。
・RP1 排氣閥已關閉。
・排氣用氮氣與閥門驅動用壓縮空氣已供應。（0.01～0.02 MPa）
・主腔室壓力已高於大氣壓。
❷按下 RP1 的 ON 開關，啟動 RP1。
❸按下 BV1 的 OPEN 開關，對主腔室進行粗磨。
等待直至排氣聲變小。（約1分鐘）
❹按下 TMP1 控制器的 START 開關，啟動 TMP1。
等待直至 TMP1 進入正常運作狀態。（約10分鐘）
❺按下真空計的ON開關開啟電源，並按下IG1開關點亮燈絲。
❻開啟氮氣吹掃閥，將吹掃用氮氣供應至TMP1。
❼等待主腔室壓力降至 1E-5 Pa 以下，再開啟質譜儀電源。
啟動進樣鎖腔排氣系統
❶進行事前確認。
・樣品進樣口已關閉，且儀器安裝正確。
・AUTO / MANUAL 開關設定為 MANUAL。
・MV、VV、RV、GV 開關設定為 CLOSE。
・RP2 開關設定為 OFF。
・氮氣（排氣用氣體）與壓縮空氣（閥門驅動用）已供應。
・RP2排氣閥及TMP2排氣閥已關閉。
❷按下RP2的ON開關，啟動RP2並開始對TMP2背側進行排氣。
等待直至排氣聲變小。
※BV2將自動開啟，並向TMP2控制器供電。
❸按下TMP2控制器的START開關，啟動TMP2。
等待直至進入正常運轉狀態。（約10分鐘）
❹將 RV 開關切換至 OPEN 位置，開始粗抽氣。
等待直至負壓鎖的粗抽氣完成。（約 5 分鐘）
❺將 RV 開關切換至 CLOSE 位置，關閉 RV。
❻將 MV 開關切換至 OPEN 位置，開啟主閥門，並開始透過 TMP2 進行排氣。
備註
RP1：旋轉泵 1
BV1：回流閥 1
TMP1：渦輪分子泵 1
RP2：旋轉泵 2
BV2：回流閥 2
TMP2：渦輪分子泵 2
RV：旋轉泵
MV：主閥
按壓開關（凹陷、亮燈）或撥動開關（向上）表示 ON 或 OPEN。
按壓開關（凸起、熄燈）或撥動開關（向下）表示 OFF 或 CLOSE。
−設備停止方法−
主腔室排氣系統的停止
❶透過 TDS 測量軟體或燈絲管理程式將質譜儀的燈絲及 SEM 設為 OFF 後，再將電源開關關閉。
❷將真空計的 IG1 設為 OFF，並切斷電源。
❸按下 TMP1 控制器的 STOP 開關，停止 TMP1。
❹按下 BV1 的 CLOSE 開關，關閉背閥。
❺等待約 30 分鐘，直至 TMP1 停止運轉。
請透過視窗確認葉片已停止運轉。
❻按下 RP1 的 OFF 開關，使 RP1 停止運轉。
❼開啟 RP1 的排氣閥，對 RP1 的進氣側進行氮氣排氣。
當流量計浮球下降後，關閉 RP1 的排氣閥。
主腔室對外通氣
❶將標準氣體・氮氣切換閥（黑色旋鈕）的尖端朝向下方（氮氣管路側）。
❷開啟主腔室排氣閥，進行氮氣排氣。
當氮氣流入主腔室時，氮氣流量計的浮子會移動。
❸當氮氣流量計的浮子下降後，請關閉主腔室排氣閥。
❹關閉氮氣吹掃閥，停止向 TMP1 供應吹掃用氮氣。
主燃燒室排氣系統停止
❶將 AUTO/MANUAL 開關切換至 MANUAL 模式。
❷將 MV 開關切換至 OPEN 位置，開啟主閥門，開始透過 TMP2 進行排氣。
❸將 VV 開關切換至 OPEN 位置，對鎖定室進行氮氣排氣。
當氮氣流入載物鎖定室時，氮氣流量計的浮子會開始移動。
❹將 VV 開關切換至 CLOSE 位置，關閉 VV。
❺按下 TMP2 控制器的 STOP 開關，等待約 10 分鐘直至 TMP2 停止運作。
❻按下 RP2 的 OFF 開關，使 RP2 停止運作。
TMP2 控制器的電源供應將自動關閉，液晶螢幕上會顯示警告訊息。
※渦輪分子泵控制器的液晶螢幕，即使關閉電源供應，在旋轉停止後仍會持續顯示約 10 分鐘。
❼開啟 RP2 排氣閥，對 RP2 的進氣側進行氮氣排氣。
當氮氣流量計的浮子下降後，請關閉 RP2 排氣閥。
裝置停止
❶將裝置背面的斷路器切換至OFF。
備註
RP1：旋轉泵 1
BV1：回流閥 1
TMP1：渦輪分子泵 1
RP2：旋轉泵 2
BV2：回流閥 2
TMP2：渦輪分子泵 2
RV：旋轉泵
MV：主閥
按壓開關（凹陷、亮燈）或撥動開關（向上）表示 ON 或 OPEN。
按壓開關（凸起、熄燈）或撥動開關（向下）表示 OFF 或 CLOSE。
