ESCO-TDS1200Ⅱ 紅外線設備的維護
−烘烤−
安裝隔熱套
❶透過軟體將質譜儀（QMS）的SEM及發熱絲關閉。
❷透過觸控面板將 QMS 電源關閉。
❸拔除連接至 QMS 控制器的電源線與通訊線。
❹使用六角扳手鬆開固定螺絲，拆下 QMS 控制器。
❺確認溫度感測器的安裝狀態。
❻將保護蓋安裝至各觀察窗。
❼拆下上部熱電偶導入端子連接器。
隔熱套❽安裝隔熱套。
隔熱套分為主腔室部分與樣品轉移機構部分兩類。
主腔室部分的隔熱套，應從裝置前側覆蓋式安裝，並利用後側與上方的魔鬼氈固定。
後側配置有主腔室真空計感測器（IG）及渦輪分子泵，因空間狹窄，請謹慎安裝。
烘烤設定
❶請透過觸控面板設定烘烤時間或結束日期與時間。
❷按下開始按鈕即可啟動。
❸完成上述操作後，烘焙程序即開始，並將加熱至設定溫度。
❹當達到設定時間或設定日期時，加熱器的供電將自動切斷。
烘焙後的處理
❶等待溫度降至接近室溫。
❷拆下隔熱套，安裝 QMS 控制器並進行接線，將各部件恢復原位。
旋轉泵（RP）換油步驟
建議每年更換一次旋轉泵的機油。
❶依照說明書指示，停止設備運作。
❷確認 RP 本體已冷卻。
❸拆下快速夾具與金屬接頭。
❹打開注油口。
❺請做好防漏油措施，並開啟放油閥。請注意，機油會猛烈噴出。
❻待機油完全排空後，請關閉放油閥。
❼從機油加注口加入規定量的機油。
❽關閉機油加注口，並按相反步驟進行組裝。
注意事項
●使用過的機油可能摻有高毒性物質，更換時請配戴護目鏡及耐油耐化學品手套。
●為避免在降下 RP 時機油濺灑四周，請在地面鋪設防護墊。
●RP停止運轉後，機油可能仍處於高溫狀態，請注意避免燙傷。
●請依照適當程序處理廢棄機油。
●請絕對勿使用本公司提供之機油或原廠純正機油以外的機油。
●因屬重物，作業時請注意防止墜落。
●請由熟悉更換作業的人員進行更換。
