大修
我們為已導入本裝置的用戶提供維護及大修服務。
請參閱以下項目。
No.001 事前調查
| 實施時間 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 4.0H |
| 使用及更換零件 | 一套檢查用樣本 |
| 備註 | 將對設備的現狀進行檢查。 |
No.002 更換紅外線燈管
| 實施時間 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 0.5H |
| 使用及更換零件 | 紅外線燈［1］ |
| 備註 | 根據設備規格的不同，所使用的零件也會有所不同。 |
No.003 更換前線陷阱元件
| 實施時間 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 0.5H |
| 使用及更換零件 | エレメント：20-H026-00-050［1罐］ |
| 備註 | 根據設備規格的不同，所使用的零件也會有所不同。 |
No.004 旋轉泵換油
| 實施時間 | 每六個月 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0H |
| 使用及更換零件 | 轉子泵油 |
| 備註 | 根據設備規格及製造商的不同，所使用的零件亦有所不同。 |
No.005 加熱試料台交換
| 實施時間 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0H |
| 使用及更換零件 | 石英基板、熱電偶、ICF墊片 |
| 備註 | 根據設備規格的不同，所使用的零件也會有所不同。 |
No.006 加熱腔室的清潔
| 實施時間 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 0.5H |
| 使用及更換零件 | ICF墊片 |
No.007 路鎖室內的清潔
| 實施時間 | 每兩年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 3.0H |
| 使用及更換零件 | ICF墊片 |
No.008 更換樣品轉運機構的板簧
| 實施時間 | 每兩年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 1.0H |
| 使用及更換零件 | 板簧、墊片 |
No.009 赤外線導入機構部の研磨
| 實施時間 | 每兩年（視機構部的污染狀況而定） |
|---|---|
| 標準作業時間 | 1.0H |
| 使用及更換零件 | 墊片 |
No.010 TMP（2）更換軸承
| 實施時間 | 每三年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 3.0H |
| 使用及更換零件 | 軸承、墊片 |
| 備註 | 根據設備規格的不同，所使用的零件也會有所不同。 |
No.011 更換油霧過濾器
| 實施時間 | 每四年（視污染狀況而定） |
|---|---|
| 標準作業時間 | 0.5H |
| 使用及更換零件 | 篩選器 |
No.012 閘閥更換
| 實施時間 | 每四年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 4.0H |
| 使用及更換零件 | 閘閥、墊片 |
| 備註 | 這取決於設備的使用頻率。 |
No.013 更換旋轉泵
| 實施時間 | 每五年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0H |
| 使用及更換零件 | 旋轉泵、防震橡膠 |
No.014 QMS分解能・質量軸調整
| 實施時間 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0H |
| 使用及更換零件 | 校準用標準氣體 |
No.015 QMS 離子源交換
| 實施時間 | 每兩年（視污染情況而定） |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0H |
| 使用及更換零件 | 離子源、墊片 |
No.016 真空啟動與烘烤套件
| 實施時間 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0H |
No.017 大修後的性能確認
| 實施時間 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 5.0H |
| 使用及更換零件 | 一套檢查用樣本 |
| 備註 | 進行維護時，必定會執行此步驟。 |
No.018 QMS検量線用測定
| 實施時間 | 每月 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 1.0H |
| 使用及更換零件 | 離子注入晶圓 |
| 備註 | 請於烘焙完成一天以上後進行。 |
No.019 QMS特性補正用測定
| 實施時間 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 3.0H |
| 使用及更換零件 | 離子注入晶圓（各類） |
| 備註 | 請於烘焙完成一天以上後進行。 |
