ESCO-TDS1200Ⅱ IR 的啟動與停止
裝置本體的啟動
❶將電源斷路器切至 ON
將裝置背面下方的電源斷路器切至 ON 位置。
啟動按鈕❷啟動
按下觸控面板上的「Start Up」按鈕。
系統將等待各感測器反應 10 秒，若無異常，畫面將切換至「啟動・停止」頁面。
觸控面板❸啟動
長按觸控面板上的「啟動」按鈕 3 秒。
透過裝置內部之PLC（可程式邏輯控制器），啟動序列將開始執行，各真空泵及各閥門將透過自動控制運作。
當主腔室的訊息顯示為「正常運作」時，即表示主腔室的啟動已完成。
當載入鎖腔室的訊息顯示為「正常運作」時，即表示載入鎖腔室的啟動已完成。
 注意 |
執行啟動操作前，請務必確認電源、氮氣及壓縮空氣的供應狀況。 |
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停止裝置本體
❶關閉 QMS 鎢絲
請透過 TDS 測量軟體或 Filament Manager，將 QMS 的 Filament 設為 OFF，並將 SEM 設為 OFF。
❷停止
長按觸控面板「啟動／停止」分頁中的「停止」按鈕 3 秒。
透過裝置內部的 PLC（可程式邏輯控制器），將啟動停止程序，並自動控制各真空泵及各閥門。
當主腔室的訊息顯示為「停止」時，即表示主腔室的停止程序已完成。
當裝載鎖的訊息顯示為「停止」時，即表示裝載鎖腔室的停止程序已完成。
| 備註 | TMP1 完全停止需耗時 20 分鐘以上。 |
|---|---|
| 停止序列開始後，QMS 的電源將關閉。 |
❸將電源斷路器切至OFF
若要切斷裝置的電源，請將背面下方的面板上的電源斷路器切至OFF。
將電源斷路器切至OFF後，觸控面板與PLC的電源也會隨之切斷。
