分析模擬
1.影響訊號波形變化的因素
根據活化能、頻率因子（振動項）、脫離成分的初始分子數、升溫速率等參數的不同，信號形狀與峰值溫度等會隨之改變。
這一點可從下述升溫脫離法的模型方程式中清楚看出。
關於這些方程式的含義，請參閱⇒「第3章 表面反應中脫離速率的計算 (pdf/635KB)」。
一級表面脫離反應
非一級的表面脫離反應
擴散脫離
q(T) 為脫離速率，ν₀ 為頻率因子，D₀ 為振動項，σ₀ 為初始分子數，C₀ 為初始濃度，n 為反應階數，d 為薄膜厚度，E 為活化能，k 為玻爾茲曼常數，β 為升溫速率，T 為絕對溫度。ψ(T) 為積分阿雷尼烏斯方程時所導出的級數。
以下為根據這些公式計算出的模擬數據。
此處假設 ψ(T)=1。
各圖的橫軸為溫度（K），縱軸為脫離速率（molecs./sec）。
2.活化能所造成的差異
在一次脫離反應的情況下
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 |
| 頻率因子（sec-1） | 1E13 | 1E13 | 1E13 | 1E13 |
| 初始分子的數量（molecs./cm2） | 1E15 | 1E15 | 1E15 | 1E15 |
| 升溫速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
在二次脫離反應的情況下
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 |
| 頻率因子 （cm2/molesc.sec） | 1E-3 | 1E-3 | 1E-3 | 1E-3 |
| 初始分子的數量（molecs./cm2） | 1E15 | 1E15 | 1E15 | 1E15 |
| 升溫速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
在擴散為速率決定步驟的情況下
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 0.5 | 0.6 | 0.7 | 0.8 |
| 振動項 （cm2/sec） | 1E-1 | 1E-1 | 1E-1 | 1E-1 |
| 初始分子的數量（molecs./cm2） | 1E16 | 1E16 | 1E16 | 1E16 |
| 升溫速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
3.頻率因子（振動項）所造成的差異
在一次脫離反應的情況下
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 2.0 | 2.0 | 2.0 | 2.0 |
| 頻率因子 （cm2/sec） | 1E14 | 1E13 | 1E12 | 1E11 |
| 初始分子的數量（molecs./cm2） | 1E15 | 1E15 | 1E15 | 1E15 |
| 升溫速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
在二次脫離反應的情況下
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 2.0 | 2.0 | 2.0 | 2.0 |
| 頻率因子 （cm2/molesc.sec） | 1E-2 | 1E-3 | 1E-4 | 1E-5 |
| 初始分子的數量（molecs./cm2） | 1E15 | 1E15 | 1E15 | 1E15 |
| 升溫速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
在擴散為速率決定步驟的情況下
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.6 |
| 頻度項 （cm2/sec） | 1E-0 | 1E-1 | 1E-2 | 1E-3 |
| 初始分子的數量（molecs./cm2） | 1E16 | 1E16 | 1E16 | 1E16 |
| 升溫速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
4.初始分子數量的差異
在一次脫離反應的情況下
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 2.0 | 2.0 | 2.0 | 2.0 |
| 頻率因子（sec-1） | 1E13 | 1E13 | 1E13 | 1E13 |
| 初始分子的數量（molecs./cm2） | 2E15 | 1E15 | 5E14 | 2.5E14 |
| 升溫速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
在二次脫離反應的情況下
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 2.0 | 2.0 | 2.0 | 2.0 |
| 頻率因子 （cm2/molesc.sec） | 1E-3 | 1E-3 | 1E-3 | 1E-3 |
| 初始分子的數量（molecs./cm2） | 2E15 | 1E15 | 5E14 | 2.5E14 |
| 升溫速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
在擴散為速率決定步驟的情況下
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.6 |
| 振動項 （cm2/sec） | 1E-1 | 1E-1 | 1E-1 | 1E-1 |
| 初始分子的數量（molecs./cm2） | 2E16 | 1E16 | 5E15 | 2.5E15 |
| 升溫速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
5.因升溫速率而產生的差異
在一次脫離反應的情況下
| A | B | C | |
| 活化能（eV） | 2.0 | 2.0 | 2.0 |
| 頻率因子 （sec2） | 1E13 | 1E13 | 1E13 |
| 初始分子的數量（molecs./cm2） | 1E15 | 1E15 | 1E15 |
| 升溫速率(K/sec) | 1/6 | 0.5 | 1.0 |
在二次脫離反應的情況下
| A | B | C | |
| 活化能（eV） | 2.0 | 2.0 | 2.0 |
| 頻率因子 （cm2/molesc.sec） | 1E-3 | 1E-3 | 1E-3 |
| 初始分子的數量（molecs./cm2） | 1E15 | 1E15 | 1E15 |
| 升溫速率(K/sec) | 1/6 | 0.5 | 1.0 |
在擴散為速率決定步驟的情況下
| A | B | C | |
| 活化能（eV） | 0.6 | 0.6 | 0.6 |
| 頻率因子 （cm2/sec） | 1E-1 | 1E-1 | 1E-1 |
| 初始分子的數量（molecs./cm2） | 1E16 | 1E16 | 1E16 |
| 升溫速率(K/sec) | 1/6 | 0.5 | 1.0 |
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