TDS1200及EMD-WA1000S/W的启动与停止
−设备启动方法−
设备启动
❶进行事前确认。
・漏电断路器处于OFF状态。
・已供应压缩空气。（0.01～0.02 MPa）
・RP1开关处于OFF状态。
❷将设备背面的断路器拨至“ON”位置。
❸按下设备正面面板上的RESET开关。
主腔室排气系统的启动
❶进行事前确认。
・主腔室已关闭，设备安装正确。
・主腔室排气阀已关闭。
・AUTO / MANUAL开关处于MANUAL位置。
・MV、VV、RV、GV开关处于CLOSE位置。
・RP1开关处于OFF位置。
・RP1排气阀已关闭。
・已供应排气用氮气和阀门驱动用压缩空气。（0.01～0.02 MPa）
・主腔室压力已达到大气压以上。
❷按下RP1的ON开关，启动RP1。
❸按下BV1的OPEN开关，对主腔室进行粗抽。
等待直至排气声变小。（约1分钟）
❹按下TMP1控制器的START开关，启动TMP1。
等待TMP1进入正常运行状态。（约10分钟）
❺按下真空计的ON开关通电，按下IG1开关点亮灯丝。
❻打开氮气吹扫阀，向TMP1供应吹扫用氮气。
❼等待主腔室压力降至1E-5 Pa以下，然后打开质谱仪电源。
启动路德洛克舱排气系统
❶进行事前确认。
・样品导入口已关闭，设备安装正确。
・AUTO / MANUAL开关处于MANUAL位置。
・MV、VV、RV、GV开关处于CLOSE位置。
・RP2开关处于OFF位置。
・氮气（排气用气体）和压缩空气（阀门驱动用）已接通。
・RP2排气阀及TMP2排气阀处于关闭状态。
❷按下RP2的ON开关，启动RP2并开始对TMP2背侧进行排气。
等待直至排气声变小。
※BV2将自动打开，并向TMP2控制器供电。
❸按下TMP2控制器的START开关，启动TMP2。
等待直至进入正常运行状态。（约10分钟）
❹将RV开关置于OPEN位置，开始粗抽。
等待载气锁粗抽完成。（约5分钟）
❺将RV开关置于CLOSE位置，关闭RV。
❻将MV开关置于OPEN位置，打开主阀，开始通过TMP2进行排气。
备注
RP1：旋转泵1
BV1：回流阀1
TMP1：涡轮分子泵1
RP2：旋转泵2
BV2：回流阀2
TMP2：涡轮分子泵2
RV：旋转泵
MV：主阀
按压开关（凹陷、点亮）或拨动开关（向上）表示ON或OPEN。
按压开关（凸起、熄灭）或拨动开关（向下）表示OFF或CLOSE。
−设备停止方法−
主腔排气系统的停止
❶在TDS测量软件或灯丝管理器中将质谱仪的灯丝及SEM设置为OFF后，关闭电源开关。
❷将真空计的IG1设置为OFF，然后切断电源。
❸按下TMP1控制器的STOP开关，停止TMP1。
❹按下BV1的CLOSE开关，关闭后阀。
❺等待约30分钟，直至TMP1停止运行。
请通过观察窗确认叶片已停止。
❻按下RP1的OFF开关，使RP1停止运行。
❼打开RP1的排气阀，对RP1的进气侧进行氮气排气。
当流量计浮子下降后，关闭RP1的排气阀。
主腔室向大气放气
❶将标准气体/氮气切换阀（黑色旋钮）的尖端朝向下方（氮气管路侧）。
❷打开主腔室排气阀，进行氮气排气。
当氮气流入主腔室时，氮气流量计的浮子会发生位移。
❸当氮气流量计的浮子下降后，关闭主腔室排气阀。
❹关闭氮气吹扫阀，停止向TMP1供应吹扫用氮气。
主腔排气系统的停止
❶将AUTO/MANUAL开关切换至MANUAL。
❷将MV开关置于OPEN位置，打开主阀，开始通过TMP2进行排气。
❸将VV开关置于OPEN位置，对锁定室进行氮气排气。
当氮气流入锁定室时，氮气流量计的浮子会随之移动。
❹将VV开关置于CLOSE位置，关闭VV。
❺按下TMP2控制器的STOP开关，等待约10分钟直至TMP2停止运行。
❻按下RP2的OFF开关，使RP2停止运行。
TMP2控制器的电源将自动切断，液晶屏上会显示警告信息。
※即使切断电源，涡轮分子泵控制器的液晶屏在旋转停止后仍会继续显示约10分钟。
❼打开RP2排气阀，对RP2的进气侧进行氮气排气。
当氮气流量计的浮子下降后，关闭RP2排气阀。
设备停止
❶将设备背面的断路器关闭。
备注
RP1：旋转泵1
BV1：回流阀1
TMP1：涡轮分子泵1
RP2：旋转泵2
BV2：回流阀2
TMP2：涡轮分子泵2
RV：旋转泵
MV：主阀
按压开关（凹形，点亮）或拨动开关（向上）表示ON或OPEN。
按压开关（凸形，熄灭）或拨动开关（向下）表示OFF或CLOSE。
