ESCO-TDS1700 IH 的启动与停止
设备本体的启动
❶将电源断路器切换至ON
将设备背面下侧面板的电源断路器切换至ON。
启动按钮❷启动
按下触摸屏上的“Start Up”按钮。
系统将等待10秒以检测各传感器反应，若无异常，将切换至“启动/停止”页面。
触摸屏❸启动
按住触摸屏上的“启动”按钮3秒钟。
通过设备内部的PLC（可编程逻辑控制器），启动序列将开始，各真空泵和各阀门将通过自动控制运行。
当主腔室的状态显示为“正常运行”时，即表示主腔室的启动已完成。
当装载锁腔室的状态显示为“正常运行”时，即表示装载锁腔室的启动已完成。
 注意 |
在进行启动操作之前，请务必确认电源、氮气和压缩空气的供应情况。 |
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设备本体的停止
❶关闭QMS丝材
通过TDS测量软件或丝材管理器，将QMS的丝材设置为OFF，并将SEM设置为OFF。
❷停止
长按触摸屏“启动/停止”选项卡中的“停止”按钮3秒。
通过设备内部的PLC（可编程逻辑控制器），将启动停止序列，并对各真空泵及各阀门进行自动控制。
当主腔室的提示信息显示为“停止”时，即表示主腔室的停止操作已完成。
当装载锁腔室的提示信息显示为“停止”时，即表示装载锁腔室的停止操作已完成。
| 注释 | TMP1完全停止需要20分钟以上。 |
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| 停止序列开始后，QMS的电源将关闭。 |
❸关闭电源断路器
如需切断设备电源，请关闭背面下侧面板的电源断路器。
关闭电源断路器后，触摸屏和PLC的电源也将被切断。
| 备注 | 关闭电源断路器后，IH温度控制的PID值将被初始化。 此外还有其他数值会被初始化。 |
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