大修
对于已引进本设备的用户，我们承接设备维护及大修业务。
请参照以下项目。
No.001 事前调查
| 实施周期 | 每年一次 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 4.0H |
| 使用・更换部件 | 检测用样品套装 |
| 备注 | 执行设备现状检查。 |
No.002 红外线灯更换
| 实施时期 | 每年 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 0.5小时 |
| 使用・更换部件 | 红外线灯［1］ |
| 备注 | 根据设备规格，使用部件有所不同。 |
No.003 前线捕集器元件更换
| 实施时间 | 每年 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 0.5小时 |
| 使用・更换部件 | 元件：20-H026-00-050［1罐］ |
| 备注 | 根据设备规格，使用部件有所不同。 |
No.004 旋转泵换油
| 实施周期 | 每6个月 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 2.0小时 |
| 使用・更换部件 | 旋转泵油 |
| 备注 | 根据设备规格及制造商不同，使用部件存在差异。 |
No.005 加热样品台更换
| 实施周期 | 每年 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 2.0小时 |
| 使用・更换部件 | 石英载物台、热电偶、ICF垫片 |
| 备注 | 根据设备规格，使用部件有所不同。 |
No.006 加热腔室内部清洁
| 实施周期 | 每年 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 0.5小时 |
| 使用・交換部品 | ICF垫片 |
No.007 路锁舱内清洁
| 实施周期 | 每两年一次 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 3.0H |
| 使用・更换部件 | ICF垫圈 |
No.008 样品转移机构板弹簧更换
| 实施周期 | 每两年 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 1.0H |
| 使用・更换部件 | 板簧、垫片 |
No.009 红外导入机构部研磨
| 实施周期 | 每两年（根据机构部污染情况） |
|---|---|
| 标准作业时间 | 1.0H |
| 使用・更换部件 | 垫片 |
No.010 TMP（2）轴承更换
| 实施周期 | 每3年 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 3.0H |
| 使用・更换零件 | 轴承、垫片 |
| 备注 | 根据设备规格，使用部件有所不同。 |
No.011 油雾过滤器更换
| 实施周期 | 每4年（根据污染情况） |
|---|---|
| 标准作业时间 | 0.5小时 |
| 使用・更换部件 | 过滤器 |
No.012 闸阀更换
| 实施周期 | 每4年 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 4.0H |
| 使用・更换部件 | 闸阀、垫片 |
| 备注 | 取决于设备使用频率。 |
No.013 旋转泵更换
| 实施周期 | 每5年 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 2.0H |
| 使用・更换部件 | 旋转泵、防振橡胶 |
No.014 质量管理系统分解能・质量轴调整
| 实施周期 | 每年 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 2.0H |
| 使用・更换部件 | 调节用标准气体 |
No.015 QMS离子源更换
| 实施周期 | 每两年（根据污染情况） |
|---|---|
| 标准作业时间 | 2.0H |
| 使用・更换部件 | 离子源、垫片 |
No.016 真空启动・烘烤套装
| 实施时期 | 每年 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 2.0小时 |
No.017 大修后的性能确认
| 实施时间 | 每年 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 5.0H |
| 使用・更换部件 | 检测用样品套装 |
| 备注 | 进行维护时必须执行此项操作。 |
No.018 QMS校准曲线用测量
| 实施周期 | 每月 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 1.0H |
| 使用・更换部件 | 离子注入晶圆 |
| 备注 | 需在烘烤1天以上后进行。 |
No.019 QMS特性补偿用测量
| 实施周期 | 每年 |
|---|---|
| 标准作业时间 | 3.0H |
| 使用・更换部件 | 离子注入晶圆（各类） |
| 备注 | 需在烘烤1天以上后进行。 |
联系我们
如对产品有任何咨询或疑问，
欢迎通过以下咨询表单随时联系我们。
