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電子科学株式会社
〒180-0013 東京都武蔵野市西久保1-3-12 オークビル3F
Tel.+81-422-55-1011(営業部)

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咨询内容必填 请参考下方的填写示例,在您了解的范围内进行填写。

填写示例1 填写示例2 填写示例3
【样品】
例:Si衬底上的ALD-Al₂O₃薄膜

【样品尺寸】
例:直径300mm× 0.775mm
  ALD-Al₂O₃膜的厚度 10nm

【样品的颜色】
例:基板呈现普通硅晶圆的颜色、
  膜呈无色透明状。

【分析目的】
例: ALD-Al₂O₃膜中水分含量的测定

【想要了解的燃气种类】
例:H₂O、氢(H2)、氧气(O2)

【加热条件】
例:加热温度范围 RT~800 ℃
  升温速率 60℃/min

【样本数量】
例:5サンプル示例

【样品处理注意事项等(可选) 】
例:フ由于是使用大尺寸晶圆寄送,
  请贵公司帮忙剪裁。
【样品】
例:玻璃基板上的氧化物半导体膜
  (IGZO膜)

【样品尺寸】
例:10 mm × 10 mm × 0.5mm
  IGZO膜的厚度 50nm

【試料の色】
例:基板、膜 ともに無色透明。

【分析目的】
例:①IGZO膜に含まれる水素、水の評価。
  ②酸素(O2)、Znが検出されるか。

【知りたいガス種】
例:H₂ 、H₂O、酸素(O2)、Zn

【加熱条件】
例:加热温度范围 RT~600 ℃
  升温速率 30℃/min

【样本数量】
例:10サンプル

【样品处理注意事项等(可选)】
例:由于难以区分样品的正反面,
  已在背面(玻璃基板侧)标注了“×”形刻线。

【样品】
例:碳粉

【样品尺寸】
例:平均粒径 100nm

【样品的颜色】
例:黑色

【分析目的】
例:①表面官能团的定性与定量。
  ②边缘氢的定量分析

【想要了解的燃气种类】
例:H₂、CO、CO2

【加热条件】
例:加熱温度範囲 RT~1700 ℃
  升温速率 30℃/min

【样本数量】
例:2样本数量

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  ※如需咨询,请联系我司的隐私政策需要同意。
关于样品处理 ・样品在分析完成后,原则上将予以退还。
・升温脱附分析(TDS)属于伴随加热的破坏性分析,因此样品在测量过程中可能会发生变化。
・根据样品种类及测量条件的不同,可能因挥发等原因导致难以回收样品。