제품 소개／제품 목록

• ESCO-TDS1200Ⅱ IR
  적외선 가열형 승온 탈리 분석 장치
  
  박막의 아웃가스 평가에 대한 업계 표준.
  
  초고진공 환경(10^-7Pa 이하)에서 CVD 박막 및 ALD 박막을 적외선으로 가열하고, 탈리되는 분자를 사중극자 질량 분석기(QMS)로 고감도 실시간 검출. 1분자층(monolayer)에 해당하는 미량의 수소·물을 고감도로 검출.
  정량도 가능합니다.
  
  
• NEW ESCO-TDS1200Ⅱ IR BGM
  밴드갭 모니터 탑재 가열 탈리 분석 장치
  
  실리콘 온도의 고정밀 측정을 실현.
  
  밴드갭 모니터를 통해 웨이퍼 표면 온도를 광학적으로 직접 측정.
  고속 가열 시에도 높은 제어성을 유지합니다.
  정밀한 탈리 온도 평가에 최적화된 상위 모델.
  
  
  
  
• ESCO-TDS1200Ⅱ IR PKG（TDS 연계형）
  기밀 봉지 패키지 내 가스 분석 장치
  
  TDS 분석 및 기밀 봉지 패키지의 잔류 가스 분석(RGA/IGA/IVA)을 지원합니다.
  기밀 밀봉 패키지의 잔류 가스 분석(RGA/IGA/IVA)과 박막 소재의 TDS 분석을 한 대의 장비로 실현하는 복합 장치. 레이저 다이오드, 수정 디바이스, MEMS 등의 신뢰성을 좌우하는 패키지 내부의 가스를 정밀하게 정성 및 정량 분석합니다. 프런트엔드부터 백엔드까지 일관된 평가가 가능합니다.
  
• NEW ESCO-TDS600 IR H2
  가열 탈리 수소 분석 장치
  
  질량 분석기 방식 가열 탈리 수소 분석 장치(수소 취성 평가 모델).
  질량 분석기 방식(진공형)의 정량성을 유지하면서 가스 크로스 방식에 버금가는 간편함을 겸비. 시료의 진공 이송을 배제하여 간편한 조작을 실현.
  제조 현장의 품질 관리부터 연구 개발까지 강력하게 지원.
  
• 개발 중 ESCO-TDS-100 Cryo H2
  저온 강 내 확산성 수소 분석 장치
  
  영하 100℃부터의 저속 가열(1℃/min)에 대응합니다.
  금속 재료의 격자 결함(입계, 전위, 공극 등)에 포획된 수소의 분리 검출이 가능합니다. 서리 부착 대책을 철저히 하여, 고도의 수소 트랩 사이트 분석을 강력하게 지원합니다.
  
  
• ESCO-TDS1700 IH
  고주파 가열형 승온 탈리 분석 장치
  
  1700℃까지의 초고온 영역에서 재료 평가를
  구현.
  고주파 유도 가열(IH)을 탑재하여, 최고 1700℃까지의 초고온 측정에 대응합니다. 고융점 금속, 세라믹스, 탄소 등의 고온 재료(내열 재료) 평가에 최적입니다.
  
  
• 주문 제작 장비의 개발·제작
  TDS에서 축적한 기술을 응용하여, 다양한 주문 제작 장비의 수탁 개발을 진행하고 있습니다. 대부분은 기밀 유지 의무로 인해 공개할 수 없으나, 한 가지 예시로 공개 가능한 개발 사례를 소개합니다.

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